米兰·深圳稳顶聚芯首台高精度步进式光刻机顺利出厂

2025年9月23日，深圳稳顶聚芯技能有限公司公布其自立研发的首台国产高精度步进式光刻机（WS180i系列）顺遂出厂，重要运用在Mini/Micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体范畴。

据悉，这次出厂的步进式光刻机属在WS180i系列。该系列产物重要面向mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体范畴，可以或许矫捷适配硅片、蓝宝石、SiC等差别衬底质料，满意多样化的胶厚光刻工艺需求。

公然资料显示，深圳稳顶聚芯技能有限公司是一家专注在半导体芯片制造设备研发的高科技企业，建立在2023年，公司产物聚焦在半导体工艺制程设备开发与制造，还有拥有套刻和要害尺寸光学量测装备、超周详光学成像质量评价体系等多种相干装备。